高純氮?dú)獾男再|(zhì)
發(fā)布時(shí)間：2019-06-13來源：洛陽華普高純氣體點(diǎn)擊：4086
高純氮?dú)鈴淖置嬉馑紒砜淳褪且环N氣體，那么是什么樣的一種氣體呢？我們都不知道，因?yàn)槲覀儾]有體驗(yàn)過看見過，所以今天我們高純氮?dú)庑【幘褪墙o您介紹有關(guān)高純氮?dú)獾囊恍┦虑椋褪沁@種氣體的性質(zhì)，所以，請(qǐng)跟我們高純氮?dú)庑【幰黄饋硌芯扛呒兊獨(dú)獾男再|(zhì)。
性質(zhì)：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對(duì)密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點(diǎn)-195.8℃。熔點(diǎn)-209.9℃。氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒?、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。、
高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
純化方法：氮?dú)饧兓椒ㄖ饕形椒?、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中，通常采用黑色鋼瓶盛放氮?dú)狻?/p>